全自动硅片洗净干燥机

设备用途：

主要用于清洗125×125和156×156规格的太阳能硅片(单晶、多晶均适用)，硅片清洗厚度200μm、180μm。

设备能力:

1清洗篮尺寸：420×640mm（L×W）高度根据实际情况另定，以最终设计为主，采用不锈钢材料制作（清洗篮底部采用全落空设计，解决清洗篮对超声波的衰减，有效提高了超声波对硅片清洗力度，从而保证了硅片的清洗质量）。

2清洗篮的装载能力：同时可装156×156太阳能硅片花篮8只，每只花篮装25片硅片，共计200片。

3典型生产节拍：0～8min/筐（从装篮进行清洗开始，到完成结束，清洗节拍连续可调）。

4生产能力和开机率：生产能力≥2000片/小时，开机率≥95%。

设备组成:

该设备由1个SUS316L不锈钢超声粗洗槽、2个SUS316L不锈钢超声碱洗槽、3个SUS316L不锈钢超声漂洗槽、1个SUS316L不锈钢慢拉脱水槽、2个60LSUS304不锈钢储液槽、1个120LSUS304不锈钢储水槽、1个SUS304不锈钢预加热补水装置、1个二工位SUS316L不锈钢自动进料超声预粗洗水槽、1个内胆为SUS304不锈钢三工位热风循环干燥出料装置、A3钢机架外包不锈钢砂光板外壳、1套智能式单臂伺服机械手、1套慢提拉脱水装置、7套超声波清洗装置、自动加热恒温装置、自动过滤循环装置、高低液位保护装置、密封抽气接口装置、2套马达驱动凸轮上下抛动辅助清洗装置、PP管路系统及触摸屏PLC电气控制系统等组成。详见设备结构示意图。

工艺流程:

上料（手动）→水中自动进料（超声预粗洗）→超声纯水粗洗（抛动、加热）→超声碱洗（抛动、加热）→超声碱洗（抛动、加热）→超声纯水漂洗（抛动、加热）→超声纯水漂洗（抛动、加热）→超声纯水漂洗（抛动、加热）→慢提脱水（加热）→通过式三工位烘干→下料（手动）

 工艺设置:

注：1、该设备在设计参考的洗剂为清洗剂及纯水。

设备的工作原理:

首先由人工将需要清洗的硅片装入花篮，然后把装满硅片的花篮装入清洗筐，再把清洗筐放入进料水槽中进行超声预粗洗，待清洗筐自动输送到起吊口后由机械手按原已设好的清洗工艺，把工件吊进相应的位置，对所要清洗的工件进行超声纯水粗洗（抛动、加热）、超声碱洗（抛动、加热）、超声碱洗（抛动、加热）、超声纯水漂洗（抛动、加热）、超声纯水漂洗（抛动、加热）、超声纯水漂洗（抛动、加热）、慢提脱水（加热）、通过式三工位烘干及下料（手动）等，并通过控制系统触摸屏PLC由机械手自动完成清洗工作，机械手动作后其它功能同时启动。