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LED蚀刻清洗机

LED蚀刻清洗机
LED蚀刻清洗机

蚀刻清洗机  

工艺零件参数

●清洗对象:2〞或4〞晶片表面上刻蚀出指定电路或做边沿刻蚀;

●最大清洗量:每次可同时清洗2盒2〞晶片或1盒4〞晶片。

设备主要结构

序号

单元

POS1

POS2

POS3

POS4

POS5

POS6

POS7

POS8

工艺

混酸

QDR

混酸

QDR

混酸

QDR

混酸

QDR

1

传送设计

手动

手动

手动

手动

手动

手动

手动

手动

2

槽内尺寸

310x210x310

310x210x310

310x210x310

310x210x310

310x210x310

310x210x310

310x210x310

310x210x310

3

单槽材质

PVDF

NPP

PVDF

NPP

PVDF

NPP

PVDF

NPP

4

防漏槽

PP

PP

PP

PP

PP

PP

PP

PP

5

液体温度

50℃

RT

50℃

RT

50℃

RT

50℃

RT

6

加热/制冷

PFA套管加热器

/

PFA套管加热器

/

PFA套管加热器

/

PFA套管加热器

/

7

温控精度

±5℃

/

±5℃

/

±5℃

/

±5℃

/

8

加热方式

直接加热

/

直接加热

/

直接加热

/

直接加热

/

9

药液供给

自动

自动

自动

自动

自动

自动

自动

自动

10

清洗槽液位

/

/

/

/

11

槽盖

/

/

/

/

12

排液方式

重力排液(PFA气动阀)

重力排液

重力排液(PFA气动阀)

重力排液

重力排液(PFA气动阀)

重力排液

重力排液(PFA气动阀)

重力排液

13

排液管路

单独排放

一般排放

单独排放

一般排放

单独排放

一般排放

单独排放

一般排放

14

排风

共用排风

共用排风

共用排风

共用排风

共用排风

共用排风

共用排风

共用排风

15

抛动

/

/

/

/

16

其他

A. 设备配备水枪、气枪各1把;

B. 片盒:PFA(花篮客户自备);

 

LED蚀刻清洗机,光电清洗机,大型超声波清洗机