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硅棒切割后清洗脱胶机

硅棒切割后清洗脱胶机
硅棒切割后清洗脱胶机

硅棒切割后清洗脱胶机

设备简介:

该设备属于二工位清洗作业,由1个SUS304不锈钢清洗槽、喷淋系统、超声波清洗系统、自动加热恒温系统、抛动提升系统、管路系统、气动控制系统及电气控制系统等组成。设备用途:

设备主要用于硅棒切割后清洗和脱胶用.

清洗夹具:

晶棒夹具由用户负责,我方根据用户的夹具设计合理的托架。

典型生产节拍:80min(清洗节拍可调),每次可清洗Φ220×350mm以上硅棒2条。

班产量(按8小时计):≥12条硅棒。

工艺流程:

抛动喷淋清洗→抛动超声波清洗→热水超声脱胶

工艺设置:

序号

工序

工序名称

清洗介质

处理时间

超声

功率

加热功率

设备温度

循环过滤精度

储液槽

1

01

抛动喷淋

清洗

纯水

20分

2

02

抛动超声波清洗

纯水

约40分

1.8KW

40KHZ

3

03

热水超声

脱胶

热纯水

10分

1.8KW

40KHZ

电加热6KW

40-60℃可调

 

硅棒切割后清洗脱胶机,超音波清洗机高压喷淋清洗机