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硅棒切割后清洗脱胶机
硅棒切割后清洗脱胶机

硅棒切割后清洗脱胶机
设备简介:
该设备属于二工位清洗作业,由1个SUS304不锈钢清洗槽、喷淋系统、超声波清洗系统、自动加热恒温系统、抛动提升系统、管路系统、气动控制系统及电气控制系统等组成。设备用途:
设备主要用于硅棒切割后清洗和脱胶用.
清洗夹具:
晶棒夹具由用户负责,我方根据用户的夹具设计合理的托架。
典型生产节拍:80min(清洗节拍可调),每次可清洗Φ220×350mm以上硅棒2条。
班产量(按8小时计):≥12条硅棒。
工艺流程:
抛动喷淋清洗→抛动超声波清洗→热水超声脱胶
工艺设置:
序号 | 工序 | 工序名称 | 清洗介质 | 处理时间 | 超声 功率 | 加热功率 | 设备温度 | 循环过滤精度 | 储液槽 |
1 | 01 | 抛动喷淋 清洗 | 纯水 | 20分 | — | — | — | — | — |
2 | 02 | 抛动超声波清洗 | 纯水 | 约40分 | 1.8KW 40KHZ | — | — | — | — |
3 | 03 | 热水超声 脱胶 | 热纯水 | 10分 | 1.8KW 40KHZ | 电加热6KW | 40-60℃可调 | — | 有 |