min

介质

状态

频率KHz

功率W

振子数只

温度℃

槽体Kw

储液槽

循环/喷淋泵

过滤

精度

上料

NO.1

超声波溶剂初洗

3

溶剂+市水

超声+抛动+循环

28

1800

36

RT100

 3

3

CHL 2-10

10μm

1

※

1

NO.2

超声波溶剂精洗

3

溶剂+市水

超声+抛动+循环

28

1500

30

RT100

3

3

CHL 2-10

10μm

1

※

NO.3

超声波纯水漂洗

3

DI纯水

超声+抛动+溢流

28

1200

24

NO.4

超声波纯水漂洗

3

DI纯水

超声+抛动+溢流

28

1200

24

NO.5

超声超纯水漂洗

3

DI纯水

超声+抛动+溢流

28

1200

24

—

NO.6

慢拉脱水干燥

5

DI纯水

慢拉脱水

—

—

RT100

2

9

1

下料

备注

J 循环溢流方向:No.6→No.3(逐级溢流)。

J 溢流后的液体可以給超声波洗剂槽补液液。节约用水量设置球阀通断

J .所有有温度的槽体均贴保温棉. 在槽底排液口均作过滤网.

J 慢拉脱水干燥工位设计高位补水溢流装置.

J 整机设计抛动装置，采取两边抛动抛动

J 整机设计定时提醒装置。